硅片清洗自动上料机械手设计

针对脱胶后的硅片在进行清洗前的分装、搬运、上料到清洗机设备的整个过程都需要人工作业,为避免对硅片造成二次污染和损伤。为确保清洗前能顺利分片整个过程都是在水质环境中进行,常年操作员的手浸泡损伤较大。单体硅片载体治具重量约20kg,每隔8分钟做次上下料动作,劳动强度较大。本文介绍了硅片在脱胶后分装到硅片载体治具中,从输送线系统自动上料到清洗机设备,空载体治具自动下料到治具回流输送线体的过程。本案的实施有效地解决了上述问题。

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